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高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。應用領域極寬,在半導體工業,高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;可作為配制混合氣的底氣。但是大家知道高純管道在高純氣體輸送中的意義是什么呢》下面就給大家介紹一下。
在不銹鋼熔煉制材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時,金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中,污染純凈氣體。當管內氣流為不連續流動時,管材對所通過的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過時,管材所吸附的氣體又形成降壓解析,而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純凈氣體中。同時,吸附、解析周而復始,使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體。管材的這一特性至關重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度,而且,應當具有很高的耐磨特性。
高純氣體腐蝕性能較強的氣體時,選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管,否則,管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑,嚴重時會出現大片金屬剝離甚至穿孔,從而污染輸配的純凈氣體。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接,原則上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊時組織不發生變化。含碳過高的材料在焊接時,受焊接部位的透氣,使得管內外氣體的相互滲透,破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度,導致我們的各項努力全部失去意義。